化學(xué)氣相沉是傳統(tǒng)的制備薄膜的技術(shù)，它的原理就是利用氣態(tài)的先驅(qū)反應(yīng)物，通過原子、分子間的化學(xué)反應(yīng)，在晶片上形成薄膜。氣相沉積能夠生產(chǎn)出具備高質(zhì)量高純度以及高強(qiáng)度等優(yōu)點(diǎn)的材料，因此在半導(dǎo)體行業(yè)很受歡迎。

氣相沉積爐的罩體和蓋板它們連接一體軸，氣相沉積爐的側(cè)壁上設(shè)置電極設(shè)置于罩體內(nèi)部，罩體內(nèi)壁對應(yīng)的導(dǎo)電板和蓋板以及驅(qū)動讓其饒軸轉(zhuǎn)動，蓋板密封的罩體的開口和罩體形成一個(gè)密封體，蓋板使罩體的開口保持著開狀可相對罩體翻轉(zhuǎn),極大的方便進(jìn)行上下料作業(yè),不需要采用微波發(fā)生器作為能量來源,有利于降低成本,蓋板可以自動打開和關(guān)閉,效率高,易于操作。