一、設備用途：
化學氣相沉積爐主要用于碳化硅（SIC）及氮化硼（BN）等新材料的制備。
二、氣相沉積爐設備特點：
1 立式結構，氣相沉積爐爐門采用絲杠升降或液壓升降/手動升降。
2 雙層爐殼結構，內層不銹鋼，外層為碳鋼，中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體，石墨碳氈保溫層保溫效果好。
3 控制方式為PLC加觸摸屏方式，有手動及自動控制切換。自動化程度高，操作方便。
4 主要電器元件采用知名品牌，性能穩(wěn)定、可靠。
5 配備出、裝料料車，方便操作及出裝料，提高工作效率。
鋰電池專用設備科研制造商隸屬于中國建筑材料集團公司
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