氣相沉積技術(shù)是一種發(fā)展迅速、應(yīng)用廣泛的表面成膜技術(shù)，它不僅可以用來制備各種特殊力學(xué)性能(如超硬、高耐蝕、耐熱和抗氧化等)的薄膜涂層，而且還可以用來制備各種功能薄膜材料利裝飾薄膜涂層等。

氣相沉積爐的作用是在高溫下氣相反應(yīng)，例如，金屬鹵化物、有機金屬、碳氫化合物等的熱分解，氫還原或使它的混合氣體在高溫下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)以析出金屬、氧化物、碳化物等無機材料的方法。這種技術(shù)較初是作為涂層的手段而開發(fā)的，但目前，不只應(yīng)用于耐熱物質(zhì)的涂層，而且應(yīng)用于高純度金屬的精制、粉末合成、半導(dǎo)體薄膜等，是一個頗具特征的技術(shù)領(lǐng)。